設備簡介:
怡和興可編程潔凈烘箱是專為高潔凈度、高精度熱處理需求設計的智能烘烤設備。采用不銹鋼內膽高效過濾系統,彩色觸摸屏支持多段可編程序,每段可獨立設定溫度、升溫速率、保持時間及風機轉速,并具備USB數據導出、密碼保護與故障自診斷功能。選配氧含量監測、氮氣置換、自動門鎖與MES通訊接口,滿足半導體、醫藥、航天等行業對潔凈、精準、可追溯烘烤工藝的需求。
應用范圍:
● 半導體晶圓、光掩模及 MEMS 的低應力烘烤與脫水去氣。
● 集成電路封裝前的膠固化、銀漿固化及后固化處理。
● 鋰電池極片、隔膜、電解液的真空/惰性氣氛干燥及水分控制。
● 航空航天復合材料、碳纖維預浸料的除溶劑與預固化。
● 高精密光學鏡片、激光晶體、光纖連接器的超凈干燥與應力釋放。
● 實驗室及中試線中對潔凈度、溫控曲線要求苛刻的任何熱處理工藝。






